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CAT(便攜式)電導測試系統

CAT(便攜式)電導測試系統主要是監察顯影劑及蝕膜分布、提供資料以修改蝕膜不均帶來的影響及其它分布問題,能夠測量退幹或濕膜的能力。除此之外,此設備可提供資料以評估比較不同表面處理及光阻物料,測量熱應力或熱沖擊前/後導孔可靠性。

CAT(便攜式)電導測試系統能力範圍:
· 測量小至0.5微米(0.02密爾)線寬線高
· 測量小至25微米(1密爾)層與層之間定位
· 測量小至12微米(0.5密爾)阻焊綠漆定位
· 測量導電體之導電能力
· 測量導孔的導電能力
· 測量小至0.5 ohms電阻
· 測量盲孔準确度及鑽孔深度
· 熱應力或熱沖擊前/後測量導孔可靠性電阻
· 測量嵌入式電阻


圖為 CAT(便攜式)電導測試機